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季华实验室简介

季华实验室是广东省委、省政府于2017年12月启动的首批省实验室之一,以打造先进制造科学与技术领域国内一流、国际高端的战略科技创新平台为目标,重点聚焦新型显示装备、半导体技术与装备、高端数控机床,以及佛山传统产业转型升级等四个主要方向开展关键核心技术系统攻关和重大装备研制。 查看详情

季华实验室简介

实验室科研园区位于佛山市三龙湾科技城核心区域,占地238亩,建筑面积30万平方米,园区一期、二期均获中国建筑行业工程质量最高荣誉“中国建设工程鲁班奖”。建有测试中心、光学平台、超滑平台等设备先进、功能齐全的公共科研平台,并面向社会开放仪器设备共享服务。 查看详情

季华实验室简介

实验室现有科研及公共技术部门17个,总人员规模达1279人,其中全职院士1名、双聘院士9名、高层次人才36人,设有国家博士后科研工作站、广东省博士工作站,与20余所高校院所联合培养研究生和高技能人才。 查看详情

部门介绍

半导体技术研究部

半导体技术研究部位于季华实验室A区A3栋,部门定位是围绕国家和广东省重大需求,建立国内一流、国际领先的半导体技术创新中心;发展战略是服从省、市和季华实验室半导体领域的重大战略布局,坚持市场导向,坚持自主创新。初始团队于2018年组立微波与真空技术研究室,团队针对半导体市场布局陆续引入泛半导体材料及器件团队、新型显示成膜技术与装备团队,组成半导体技术研究部。部门科研工作主要围绕半导体装备及零部件、半导体材料、半导体器件、泛半导体材料及芯片、电子化学品、成膜技术装备、集成电路设计及人工智能算法等领域展开深入研究和验证,攻坚关键技术难题,旨在实现半导体关键设备及零部件的产业化目标,加速中国半导体行业的发展进程。

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半导体技术研究部
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